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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

簡要描述：四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。

  • 產品型號：GC-9560-PDD
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2025-07-31
  • 訪  問  量： 4633

詳細介紹

四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。


硅(SiHCl3)含量（體積分數(shù)）/l0-6                                                                   ≤40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（體積分數(shù)）/l0-6                                                                   ≤40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（體積分數(shù)）/l0-6                                                         ≤20050
金屬元素及其他元素含量（硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg）                          ≤——0.1
（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg）                      ≤——0.3
鎵（Ga）含量/（µg/kg）                            ≤——0.5
銻（Sb）含量/（µg/kg）                               ≤——0.5
銦（In）含量/（µg/kg）                              ≤——0.5
鈣（Ca）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鉻（Cr）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鐵（Fe）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鉀（K）含量/（µg/kg）                                ≤10.5
鈉（Na）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鎳（Ni）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鉬（Mo）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
錳（Mn） 含量/（µg/kg）                              ≤10.5
銅（Cu）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鎘（Cd） 含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鈷（Co）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鋅（Zn）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
釩（V）含量/（µg/kg）                                ≤10.5





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